在线式X-RAY点料机

• 作业时间：14秒/盘(7"/8mm)
• 物料种类：7"~15"
• 外型尺寸：长3,060mm x 宽1,360mm x 高1,900mm

LCR测量计数/分料/贴标一体机

• 作业时间：60秒/盘(CR测量/计数/更新标签)
• 物料种类：7"~8mm
• 外型尺寸：长1,200mm x 宽680mm x 高1,600mm

自动上料/注册/贴标/移载一体机

• 作业时间：8~14秒/盘
• 物料种类：7"/8mm~13"/24mm
• 外型尺寸：长2,050mm x 宽880mm x 高1,720mm

智能料架

• 储存容量：
  1.料盘1,400盘/台
  2.真空包装/Try包装/管状包装可依需求配比
• 外型尺寸：长2,130mm x 宽400mm x 高1,860mm

自动引导车AGV

• 行走速度：3~60公尺/分
• 导航经度：±10mm
• 导引方式：磁条/激光/二维条码引导

箱式搬运机器人

• 取放货时间：8秒
• 机械旋转直径：1,600mm
• 车体尺寸：长1,600mm x 宽1,000mm x 高4,220mm

• 晶圆
• 光罩
• 盒状磁带
• 晶圆框架外盒
• 前开式晶圆传送盒
• 记忆体